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微孔阵列结构的纳秒激光制备及陷光性能研究
引用本文:侯孟,许金凯,廉中旭,侯永刚,于化东.微孔阵列结构的纳秒激光制备及陷光性能研究[J].四川激光,2022(6):26-30.
作者姓名:侯孟  许金凯  廉中旭  侯永刚  于化东
作者单位:长春理工大学跨尺度微纳制造教育部重点实验室
基金项目:国家自然科学基金(No.U19A20103);;中国博士后科学基金(No.2019M661184);;吉林省科技发展计划(No.YDZJ202101ZYTS025);
摘    要:为了制备形状可控、有序阵列的陷光微结构表面,使用纳秒激光器在钛合金(Ti6Al4V)表面加工呈六角形分布的微孔阵列结构,研究了不同激光扫描次数对表面微孔阵列结构形貌和反射率的影响。研究结果表明,随着激光扫描次数的增加,微孔结构表面的反射率逐渐降低,当激光扫描次数增加至40次时,微米级孔洞的直径约为(68±5)μm,孔洞深度约为(175±5)μm,在400 nm~1 000 nm波长范围内微孔阵列结构表面的平均反射率降低至1.3%。纳秒激光制备的微孔阵列结构表面有效增强了钛合金表面的陷光性能,在光学隐身、屏蔽杂散光等领域内具有重要的应用前景。

关 键 词:微孔阵列结构  纳秒激光  Ti6Al4V  陷光性能
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