近红外混合式焦平面阵列

采用CdTe透明衬底上液相外延的Hg_(1-x)Cd_xTe(x=0.446)制成了λ_0=2.5μm的32×32元HgCdTe焦平面阵列,以装备地球资源勘测用的机载成像分光仪。在外延片的一角取很小的面积来制作二极管,凡二极管具有良好光电性能的外延片便可用来制作阵列。光伏探测器阵列采用平面工艺制造,其n_-~+p结通过硼离子注入法形成,并采用了ZnS钝化层。各阵列元上生长了供混合集成用的铟柱。阵列规模为32×32元,阵列元尺寸68μm。