准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅 |
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引用本文: | 邓国庆,朱志强,张玉亮. 准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅[J]. 光电子技术与信息, 2004, 17(5): 15-17 |
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作者姓名: | 邓国庆 朱志强 张玉亮 |
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作者单位: | 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031 |
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摘 要: | 准分子激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术,而近年来基于准分子紫外光源制作光纤布拉格光栅元件(FBG)的技术日益成为国内外的研究热点.本文简述了准分子激光光刻的研究现状和光纤布拉格光栅的应用,详细介绍了利用紫外激光制作FBG的技术和相应准分子激光光源关键技术的发展.
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关 键 词: | 准分子激光 光刻 光纤布拉格光栅 |
文章编号: | 1006-1231(2004)05-0015-03 |
修稿时间: | 2003-12-16 |
Excimer Laser Fabricate Optical Fiber Bragg Grating |
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