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| 准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅 | |
| 引用本文： | 邓国庆,朱志强,张玉亮.准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅[J].光电子技术与信息,2004,17(5):15-17. |
| 作者姓名： | 邓国庆 朱志强 张玉亮 |
| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031 |
| 摘 要： | 准分子激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术，而近年来基于准分子紫外光源制作光纤布拉格光栅元件(FBG)的技术日益成为国内外的研究热点．本文简述了准分子激光光刻的研究现状和光纤布拉格光栅的应用，详细介绍了利用紫外激光制作FBG的技术和相应准分子激光光源关键技术的发展． |
| 关 键 词： | 准分子激光 光刻 光纤布拉格光栅 |
| 文章编号： | 1006-1231(2004)05-0015-03 |
| 修稿时间： | 2003年12月16 |
Excimer Laser Fabricate Optical Fiber Bragg Grating |
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