| ?-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的
湿敏性能研究 |
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| 引用本文： | 王海燕﹡,李隆玉,董永芬,李新建.?-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的
湿敏性能研究[J].传感技术学报,2008,21(7). |
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| 作者姓名： | 王海燕﹡ 李隆玉 董永芬 李新建 |
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| 作者单位： | 1. 郑州轻工业学院技术物理系,郑州,450002
2. 郑州大学物理工程学院,教育部重点实验室,郑州,450052 |
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| 摘 要： | 利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低。在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%。分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因。
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| 关 键 词： | γ-Fe2O3 硅纳米孔柱阵列 湿度传感器 |
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