| 大口径光学元件透反射检测调整工装的研制与分析 |
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| 引用本文： | 鱼胜利,周建勋,肖虹. 大口径光学元件透反射检测调整工装的研制与分析[J]. 工具技术, 2018, 0(3): 135-138 |
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| 作者姓名： | 鱼胜利 周建勋 肖虹 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; |
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| 摘 要： | 为了检测光学元件面形精度和波前功率谱密度,研制开发了一套具备透射和反射检测功能的检测调整工装。该调整工装把光学元件及其旋转板、支撑座的重量通过连接板和杆端球面联结器传递到基座上,俯仰调节机构和偏摆调节机构只起调节作用而不需承受上述重量的影响,增加了姿态调节时的便捷性和稳定性。介绍了调整工装的结构设计,对调整工装的运动仿真、模态及稳定性进行了分析。使用该工装测量的结果为,410mm×410mm的大口径光学元件反射检测的PV为2.17μm,透射检测的PSD1为3.84nm,与已知测量结果的标准KDP晶体基本相同,说明该透反射检测调整工装测量结果真实可靠。
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| 关 键 词： | 大口径光学元件 检测调整工装 俯仰调节 偏摆调节 |
Development and Analysis of Adjusting Tool for Transmission and Reflectance Detection of Large Aperture Optical Element |
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