基于可控LC串联谐振的高重频高精度脉冲充电电源

针对集成电路光刻用准分子激光光源的高重复频率、高精度和高稳定脉冲充电应用需求,设计了一种基于可控LC串联谐振的脉冲充电电源,采用实时检测电路总能量、短路电感中断谐振过程和储能电容精准泄放的技术方案,实现了输出的高重频、高精度以及每脉冲充电电压精确可调。对该充电电源的工作过程进行了理论分析,研究了系统的要点和难点,完成样机并与高重频准分子激光系统联机运行。在激光器初级储能电容5.44μF的条件下,实现了最大充电电压1.92 kV、充电重复频率4 kHz、充电电压精度0.05%的输出特性,系统的能量传输率达到40 kJ/s,各项指标均满足集成电路光刻用准分子激光光源的实际应用需求。