ZrO_2陶瓷生坯表面微织构制备工艺的研究 |
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引用本文: | 刘亚运,刘莉莉,邓建新,王伟,葛栋良,张贵梁. ZrO_2陶瓷生坯表面微织构制备工艺的研究[J]. 工具技术, 2018, 0(1): 11-15 |
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作者姓名: | 刘亚运 刘莉莉 邓建新 王伟 葛栋良 张贵梁 |
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作者单位: | 山东大学;河南科技学院; |
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摘 要: | 通过冷等静压技术制备Zr O_2陶瓷生坯,并利用脉冲激光在陶瓷生坯表面制备微织构沟槽。探究激光参数对表面微织构质量的影响,并研究烧蚀区域的热影响区和激光烧蚀表面的微观形态变化。实验结果表明:通过激光加工可以在Zr O_2陶瓷生坯表面加工出深度30-50μm、宽度15-50μm质量较好的微织构沟槽;激光参数对表面加工质量有较大的影响,激光频率低于40Hz、功率低于6W和扫描速度高于200mm/s能够获得较好的表面质量;当激光频率高于60Hz、功率高于10W和扫描速度低于150mm/s时,在激光烧蚀表面容易形成烧蚀层,分析得知烧蚀层是由于在激光高温照射下Zr O_2颗粒的熔化和再凝固形成的。
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关 键 词: | 陶瓷生坯 激光加工 表面质量 烧蚀微观形貌 |
Fabrication of Micro-Scale Textured Grooves on Green Zr O_2 Ceramics by Pulsed Laser Ablation |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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