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| ITO玻璃在线等离子体清洗的研究 | |
| 作者姓名： | 吴桂初 王德苗 等 |
| 作者单位： | [1]温州师范学院物理系，温州325027 [2]浙江大学信息与电子工程系，杭州310027 |
| 摘 要： | 通过在线等离子体清洗的玻璃基片表面沉积的ITO（或SiO2)膜，不仅具有优良的光电特性，而且提高了膜层在基片上的附着力。与未经在线等离子体清洗的基片沉积的ITO膜相比，膜层附着力提高了3．5倍。此项成果已在ITO膜透明导电玻璃连续生产线上得到应用。 |
| 关 键 词： | 等离子体 表面处理 ITO膜 附着力 氧化铟锡膜 导电玻璃 液晶显示器 导电电极 制备 |
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