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微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响
引用本文:胡芳,代明江,林松盛.微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响[J].中国表面工程,2011,24(3):53-58.
作者姓名:胡芳  代明江  林松盛
作者单位:广东省工业技术研究院广州有色金属研究院,广州,510651
摘    要:使用45μm白刚玉对YG6硬质合金样品进行微喷砂预处理后,利用阳极层流型气体离子源和非平衡磁控溅射复合技术制备梯度过渡类金刚石薄膜。研究表明:优化的微喷砂预处理工艺能显著提高膜/基结合力,降低膜层的摩擦因数。文中通过对优化微喷砂预处理前后表面接触角成分和硬度的测试,以及制备出膜层的物相和微观结构的分析,进一步探讨了优化微喷砂预处理对类金刚石薄膜性能的影响。

关 键 词:微喷砂  硬质合金  类金刚石薄膜  膜/基结合力  摩擦因数

Effects on Structure and Performance of Diamondlike Carbon Films deposited on Cemented Carbide by Microblasting Pretreatment
HU Fang,DAI Ming-jiang,LIN Song-sheng.Effects on Structure and Performance of Diamondlike Carbon Films deposited on Cemented Carbide by Microblasting Pretreatment[J].China Surface Engineering,2011,24(3):53-58.
Authors:HU Fang  DAI Ming-jiang  LIN Song-sheng
Affiliation:HU Fang,DAI Ming-jiang,LIN Song-sheng(Guangdong General Research Institute of Industrial Technology,Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals,Guangzhou 510651)
Abstract:
Keywords:micro-blasting  cemented carbides  DLC film  adhesion strength  friction coefficient  
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