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太阳能硅片电火花电解复合切割制绒机理研究
引用本文:刘志东,汪炜,邱明波,田宗军,黄因慧.太阳能硅片电火花电解复合切割制绒机理研究[J].太阳能学报,2009,30(5).
作者姓名:刘志东  汪炜  邱明波  田宗军  黄因慧
作者单位:南京航空航天大学机电学院,南京,210016
基金项目:江苏省高技术研究计划 
摘    要:提出了一种基于复合工作液的以电火花电解复合加工技术对太阳能硅片进行切割及制绒一体化的新方法.试验表明高速走丝电火花线切割(WEDM-HS)对太阳能硅片切割具有效率高、厚度薄、切缝窄、表面可直接形成绒面结构,表面无明显微裂纹且切割表面不存在电极丝金属残余;在硅表面放电凹坑内由于高温电解复合作用会形成密集、壁面光滑且高深径比的微孔洞结构;绒面结构不受硅材料特别是多晶硅各向同性的影响,且获得的表面反射率略低于目前制绒方法的表面等特性.

关 键 词:太阳能硅片  电火花电解复合加工  切割制绒一体化  复合工作液

BASIC RESEARCH ON COMPOUND EDM AND ECM CUTTING WITH TEXTURING ON SOLAR WAFER
Liu Zhidong,Wang Wei,Qiu Mingbo,Tian Zongjun,Huang Yinghui.BASIC RESEARCH ON COMPOUND EDM AND ECM CUTTING WITH TEXTURING ON SOLAR WAFER[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2009,30(5).
Authors:Liu Zhidong  Wang Wei  Qiu Mingbo  Tian Zongjun  Huang Yinghui
Abstract:
Keywords:
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