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半导体生产中掺杂剂的称量系统
摘 要:
一种半导体生产中掺杂剂的称量系统,它包括:多台电子秤,计算机,打印机,所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡,卡的一端为接口,该接口接电子秤数据传输线,另一端为输出端,该输出端接电脑主机,电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议,计算机接带不干胶带的打印机。本系统的优点是:称量准确、快速,可避免不同掺杂剂在称量时产生的交叉污染。
关 键 词:
半导体生产
称量系统
掺杂剂
TCP/IP协议
数据传输线
电脑主机
电子秤
计算机
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