| MEMS器件圆度误差纳米级测量方法研究 |
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| 引用本文： | 孙涛,赵学森,闫永达,董申.MEMS器件圆度误差纳米级测量方法研究[J].中国机械工程,2005,16(Z1):479-481. |
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| 作者姓名： | 孙涛 赵学森 闫永达 董申 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 为了测量毫米以下尺寸MEMS零件的圆度参数,建立了将扫描探针显微镜(SPM)系统的原子力测头作为测量传感器,配合精密回转气浮轴系实现对待测试件进行转位的测试系统;讨论了精密气浮轴系、驱动电机、装夹调心装置等关键部件的设计问题及测量系统的工作原理.应用测试系统测量了直径约为0.2mm的微细电极外表面形貌,对获得的表面数据进行了滤波处理,最后使用最小二乘圆度评定准则计算其圆度误差为3.210μm.这种方法可以为圆形MEMS器件的制造工艺提供可行的测量方法与手段.
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| 关 键 词： | MEMS 扫描探针显微镜(SPM) 圆度 测量 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0479-03 |
| 修稿时间： | 2005年4月10日 |
Study on Nano-scale Roundness Measurement Method of MEMS Components |
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| Sun Tao,Zhao Xuesen,Yan Yongda,Dong Shen.Study on Nano-scale Roundness Measurement Method of MEMS Components[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):479-481. |
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| Authors: | Sun Tao Zhao Xuesen Yan Yongda Dong Shen |
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