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用低能电子显微术观察薄膜生长的起始阶段
摘 要:
用低能电子显微术观察薄膜生长的起始阶段八十年代中期Bauer和Telieps ̄[1,2]改进了低能电子显微术,他们得到;反射式低能电子显微术的分辨率理论上可以达到2-3nm。但是,由于振动等因素的影响,实验上达到的横向分辨率为20nm。他们用十几eV...
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