| 利用ZYGO干涉仪进行非球面检测技术研究 |
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| 引用本文： | 龙夫年,郭秀梅,刘剑峰. 利用ZYGO干涉仪进行非球面检测技术研究[J]. 哈尔滨工业大学学报, 2005, 37(2): 231-233 |
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| 作者姓名： | 龙夫年 郭秀梅 刘剑峰 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,航天学院,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,航天学院,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,航天学院,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 为了能够利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面，提出了一种新的波前补偿方法，即透镜补偿与计算全息相结合．通过设计实例表明，对于相对孔径为1：1．08的大口径深度高次非球面，利用简单的2片式透镜补偿器、并与计算全息的-1级衍射波相结合，系统的波前残余误差的均方根(RMS)值可以控制在0．01λ以内．结果表明，该检测方法具有通用性强，测量精度高等特点，较好的克服了以往各种检测方法的局限性．
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| 关 键 词： | 高次非球面 透镜补偿 计算全息 |
| 文章编号： | 0367-6234(2005)02-0231-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-30 |
Technical study for testing of aspheres by using ZYGO interferometer |
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| LONG Fu-nian,GUO Xiu-mei,LIU Jian-feng. Technical study for testing of aspheres by using ZYGO interferometer[J]. Journal of Harbin Institute of Technology, 2005, 37(2): 231-233 |
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| Authors: | LONG Fu-nian GUO Xiu-mei LIU Jian-feng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high-order asphere lens compensation CGH |
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