| 多自由度多层压电陶瓷微操纵技术的理论模拟 |
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| 引用本文： | 褚祥诚 黄金锭 李思贤 李龙土 桂治轮. 多自由度多层压电陶瓷微操纵技术的理论模拟[J]. 稀有金属材料与工程, 2007, 36(A01): 513-516 |
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| 作者姓名： | 褚祥诚 黄金锭 李思贤 李龙土 桂治轮 |
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| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（50505021,10676015）：北京市科技新星计划项目（2006856）资助 |
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| 摘 要： | 压电陶瓷具有简单、体积小、质量轻、分辨率高等优点，在微操作器驱动中是主流材料。针对一种三自由度多层压电陶瓷微操纵技术进行了理论模拟研究，采用有限元法分析了操纵器在不同驱动方式下的工作状态，如：沿Z轴平动、绕X轴和X-Y轴平分线转动3种情况。研究了陶瓷片内部应力特点，并对微操纵的变形行为作了定量分析，得到了探针的位移与驱动电压呈现良好的线性关系，通过对比针尖位移量与所施加的电压之间的系数D以及压电材料关键性能参数d33，验证了模拟的准确性，并验证了采用多层压电陶瓷降低驱动电压实现微操纵的可能。
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| 关 键 词： | 微操纵器 压电陶瓷 多自由度 有限元分析 |
| 文章编号： | 1002-185X（2007）S1-0513-04 |
| 修稿时间： | 2007-02-11 |
Simulation of 3-DOF Multilayer Piezoelectric Micromanipulator |
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| Chu Xiangcheng, Huang Jinding, Li Sixian, Li Longtu, Gui Zhilun. Simulation of 3-DOF Multilayer Piezoelectric Micromanipulator[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2007, 36(A01): 513-516 |
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| Authors: | Chu Xiangcheng Huang Jinding Li Sixian Li Longtu Gui Zhilun |
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| Affiliation: | State Key Lab of New Ceramics and Fine Processing, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | mieromanipulator PZT multi-DOF FEM |
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