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四象限探测器用于激光跟踪仪目标脱靶量测量
引用本文:周培松,卢荣胜,周维虎,董登峰,李万红,朱涵.四象限探测器用于激光跟踪仪目标脱靶量测量[J].光电技术应用,2014,29(1):75-79.
作者姓名:周培松  卢荣胜  周维虎  董登峰  李万红  朱涵
作者单位:周培松:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009
卢荣胜:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009
周维虎:中国科学院光电研究院,北京 100094
董登峰:中国科学院光电研究院,北京 100094
李万红:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009
朱涵:中国科学院光电研究院,北京 100094
基金项目:国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120022)
摘    要:介绍了基于四象限探测器的激光跟踪仪目标脱靶量测量系统。根据四象限探测器的工作原理和跟踪激光的光斑特性,分析得出目标脱靶量与四象限探测器输出电流信号的关系为非线性。针对非线性关系不易快速解算的难题,文中采用了分段线性插值算法。使用高精度位移平台对测量系统进行标定并开展了测量实验。结果表明,该系统测量速度快,每秒测量次数可达600次以上;测量精度高,在±500μm量程范围内测量精度可达5μm。该系统可以广泛应用于需要微小位移测量的相关领域。

关 键 词:四象限探测器  分段线性插值  脱靶量  激光跟踪仪
收稿时间:2013/9/28
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