四象限探测器用于激光跟踪仪目标脱靶量测量 |
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作者姓名: | 周培松 卢荣胜 周维虎 董登峰 李万红 朱涵 |
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作者单位: | 周培松:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009 卢荣胜:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009 周维虎:中国科学院光电研究院,北京 100094 董登峰:中国科学院光电研究院,北京 100094 李万红:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥 230009 朱涵:中国科学院光电研究院,北京 100094
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基金项目: | 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120022) |
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摘 要: | 介绍了基于四象限探测器的激光跟踪仪目标脱靶量测量系统。根据四象限探测器的工作原理和跟踪激光的光斑特性,分析得出目标脱靶量与四象限探测器输出电流信号的关系为非线性。针对非线性关系不易快速解算的难题,文中采用了分段线性插值算法。使用高精度位移平台对测量系统进行标定并开展了测量实验。结果表明,该系统测量速度快,每秒测量次数可达600次以上;测量精度高,在±500μm量程范围内测量精度可达5μm。该系统可以广泛应用于需要微小位移测量的相关领域。
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关 键 词: | 四象限探测器 分段线性插值 脱靶量 激光跟踪仪 |
收稿时间: | 2013-09-28 |
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