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| 基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件 | |
| 引用本文： | 周剑,何兴理,金浩,王德苗,骆季奎.基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件[J].光学精密工程,2014,22(2):346. |
| 作者姓名： | 周剑 何兴理 金浩 王德苗 骆季奎 |
| 作者单位： | 周剑:浙江大学 信息与电子工程学系, 浙江 杭州 310027 何兴理:浙江大学 信息与电子工程学系, 浙江 杭州 310027 金浩:浙江大学 信息与电子工程学系, 浙江 杭州 310027 王德苗:浙江大学 信息与电子工程学系, 浙江 杭州 310027 骆季奎:浙江大学 信息与电子工程学系, 浙江 杭州 310027英国博尔顿大学 可再生能源和环境技术研究所, 博尔顿 BL35AB |
| 基金项目： | 浙江省教育厅资助项目(No.Y200805433) |
| 摘 要： | 提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)择优取向,膜粗糙度小于9nm,适合制作压电器件。在柔性衬底上制备了基于ZnO压电薄膜的SAW器件,该器件表现出良好的谐振性能。采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线,实验结果与仿真结果具有很好的一致性。随着波长减小,谐振频率和相速度增加,当ZnO厚度为4μm,波长为8μm时,器件的谐振频率为268MHz,相速度为2 144m/s,机电耦合系数为1.1%;当ZnO厚度增加时,此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加。 |
| 关 键 词： | 柔性衬底 ZnO薄膜 压电薄膜 声表面波器件 |
| 收稿时间： | 2013/9/20 |
Flexible ZnO thin film SAW device on polyimide substrate |
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| Abstract: | |
| Keywords: | flexible substrate ZnO thin film piezoelectric film Surface Acoustic Wave(SAW) device |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |