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| MEMS扫描镜温度可靠性测试 | |
| 引用本文： | 乔大勇,史龙飞,曹兰玉,练彬.MEMS扫描镜温度可靠性测试[J].传感器与微系统,2014,33(12). |
| 作者姓名： | 乔大勇 史龙飞 曹兰玉 练彬 |
| 作者单位： | 1. 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室,陕西西安,710072 2. 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西西安,710072 3. 西北工业大学深圳研究院,广东深圳,518057 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，西北工业大学基础研究基金资助项目，深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划项目 |
| 摘 要： | 温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响,再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描镜可靠性的影响,分析扫描镜在试验中是否失效和失效的原因。试验结果表明:高温对MEMS扫描镜外框架和镜面振幅无影响,低温对MEMS扫描镜外框架振幅影响较大,增幅达12.3%,对镜面振幅无影响;低温存储由于水汽凝结会导致MEMS扫描镜失效,高温存储对MEMS扫描镜可靠性无影响。 |
| 关 键 词： | MEMS扫描镜 可靠性 高低温存储 温度冲击 |
Temperature reliability test of MEMS scanning mirror |
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| QIAO Da-yong,SHI Long-fei,CAO Lan-yu,LIAN Bin.Temperature reliability test of MEMS scanning mirror[J].Transducer and Microsystem Technology,2014,33(12). | |
| Authors: | QIAO Da-yong SHI Long-fei CAO Lan-yu LIAN Bin |
| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS scanning mirror reliability high and low temperature storage temperature shock |
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