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层状多孔ZnO厚膜的制备及其气敏性能研究
引用本文:梅鑫涛,张五星,李爽,吕文中,胡先罗,袁利霞,黄云辉. 层状多孔ZnO厚膜的制备及其气敏性能研究[J]. 材料导报, 2011, 25(14)
作者姓名:梅鑫涛  张五星  李爽  吕文中  胡先罗  袁利霞  黄云辉
作者单位:1. 华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074
2. 华中科技大学材料科学与工程学院,武汉,430074
基金项目:国家杰出青年科学基金(50825203); 国家技术研究发展计划863项目(2009AA03Z225); 湖北省自然科学基金重点项目(2008CDA026); 武汉市青年科技晨光计划资助项目(200850731354)
摘    要:
由片状材料的定向自组装得到的层状结构可以使膜具有良好的取向性和特殊的物理化学性能。通过对ZnSO4.7H2O在150℃进行水热反应合成出高径厚比的碱式硫酸锌薄片,然后将这种大面积的薄片组装成一定厚度的自持膜并进一步热处理成具有多孔结构的层状ZnO厚膜。通过对600℃、700℃和800℃热处理得到的材料进行XRD及SEM分析,研究了其成分及多孔结构的产生过程,并结合气敏测试结果证明由烧结温度所带来的多孔结构的变化确实会对其气敏性能造成一定的影响。对不同气体进行的气敏性能测试表明,这种层状多孔ZnO结构是一种理想的气敏传感材料,特别适合用于检测H2S气体。

关 键 词:ZnO气敏传感器  自组装  多孔结构  水热反应  

Preparation and Gas-sensing Properties of Hierarchical Porous ZnO Thick-film Sensors
MEI Xintao,ZHANG Wuxing,LI Shuang,LU Wenzhong,HU Xianluo,YUAN Lixia,HUANG Yunhui. Preparation and Gas-sensing Properties of Hierarchical Porous ZnO Thick-film Sensors[J]. Materials Review, 2011, 25(14)
Authors:MEI Xintao  ZHANG Wuxing  LI Shuang  LU Wenzhong  HU Xianluo  YUAN Lixia  HUANG Yunhui
Affiliation:MEI Xintao1,ZHANG Wuxing1,LI Shuang1,LU Wenzhong1,HU Xianluo2,YUAN Lixia2,HUANG Yunhui2(1 Department of Electronic Science and Technology,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,2 College of Materials Science and Engineering,Wuhan 430074)
Abstract:
Keywords:ZnO gas sensor  assembly  porous structure  hydrothermal reaction  
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