| 一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试 |
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| 引用本文： | 钱开友,颜丙勇,林仰魁,王芸,徐东,蔡炳初.一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试[J].传感技术学报,2005,18(3):614-616. |
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| 作者姓名： | 钱开友 颜丙勇 林仰魁 王芸 徐东 蔡炳初 |
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| 作者单位： | 薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030 |
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| 摘 要： | 提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构.计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点.对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果较为相符.
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| 关 键 词： | 场发射 压力传感器 阳极变形膜 计算机模拟 |
| 文章编号： | 1005-9490（2005）03-0614-03 |
| 收稿时间： | 2004-11-12 |
| 修稿时间： | 2004年11月12日 |
Simulation and Test of Novel Structure for Anode Film of
Field Emission Pressure Sensors |
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| QI A N K ai??you,YAN Bing??y ong,L IN Yang??kui,WA N G Yun,X U Dong,CAI Bing??chu.Simulation and Test of Novel Structure for Anode Film of
Field Emission Pressure Sensors[J].Journal of Transduction Technology,2005,18(3):614-616. |
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| Authors: | QI A N K ai??you YAN Bing??y ong L IN Yang??kui WA N G Yun X U Dong CAI Bing??chu |
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| Affiliation: | K ey L aborat ory f or T hin F ilm and Mi crof abri cat ion T ec hnol ogy of Mini st ry of E du cati on,
Re se arch I nsti tute of Mi cr o/ Nanomet er S ci ence & T ech nol og y ,
S hangh ai J iao Tong Uni ve rsi ty , S hangh ai 200030, China |
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| Abstract: | The structure of two layer films for the anode sensing film of the field emission pressure sensors is presented.Computer simulation shows the structure has the merits of wide range of measurement and high sensitivity compared with the reported single layer film.Due to the influence of test's error and the roughness of the surface made by the wet etching,the measurement results may be considered to be accordant with the experimental simulation results. |
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| Keywords: | field emission pressure sensors anode sensing film computer simulation |
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