| 10-10 Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵 |
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| 引用本文： | 蒋迪奎,陈丽萍,殷立新.10-10 Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵[J].真空科学与技术学报,2004,24(3):222-224. |
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| 作者姓名： | 蒋迪奎 陈丽萍 殷立新 |
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| 作者单位： | 上海原子核研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SIP单独抽气,极限压强1.1×10-8Pa.NEG激活后,SIP和NEG联合抽气,复合泵的极限压强降到7×10-10Pa,抽速稳定的范围更广,标称抽速约是SIP抽速的2.5倍.
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| 关 键 词： | 溅射离子泵 非蒸散型吸气剂 (SIP NEG)复合泵 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)03-0222-03 |
| 修稿时间： | 2003年9月15日 |
Integration of Commercial Sputtering Ion Pumps with Non-Evaporative Getter |
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| Jiang Dikui ,Chen Liping and Yin Lixing.Integration of Commercial Sputtering Ion Pumps with Non-Evaporative Getter[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(3):222-224. |
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| Authors: | Jiang Dikui Chen Liping and Yin Lixing |
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| Affiliation: | Jiang Dikui *,Chen Liping and Yin Lixing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sputtering ion pump (SIP) Non evaporative getter (NEG) (SIP NEG) pump combination |
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