功率超声换能器机械分量提取方法

本文通过分析功率超声换能器的原理,给出了其等效电路模型,并在此基础上借助于性能传感器件——“LEM模块”,成功地将能够反映机械谐振状态的电流参数提取出来,从而可方便地实现功率超声加工过程中的“频率自动跟踪”等技术。