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| 单层胶剥离工艺及其应用 | |
| 作者姓名： | 李淑琴 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所 |
| 摘 要： | 本文主要叙述了单层胶剥离工艺及其原理,并对这项技术的关键问题进行了分析.文章还报导了剥离技术在Pb合金约瑟夫逊隧道结中的应用及I-V特性测试结果.其整个工艺过程均使用国产光刻胶和普通紫外曝光设备. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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