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| 基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响 | |
| 引用本文： | 龚才,代明江,陈明安,韦春贝,侯惠君. 基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响[J]. 中国表面工程, 2013, 26(1): 27-33 |
| 作者姓名： | 龚才 代明江 陈明安 韦春贝 侯惠君 |
| 作者单位： | 1. 中南大学材料科学与工程学院,长沙410083;广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)新材料研究所,广州510651 2. 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)新材料研究所,广州,510651 3. 中南大学材料科学与工程学院,长沙,410083 |
| 摘 要： | 采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5 MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜.利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征.结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸存在明显的区别.其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少；薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金＞H13钢＞304不锈钢＞TC4钛合金. |
| 关 键 词： | 真空阴极电弧离子镀 TiN薄膜 液滴 膜/基结合力 |
Effects of Different Substrates on the Droplets and Adhesion Strength of TiN Films |
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| GONG Cai,DAI Ming-jiang,CHEN Ming-an,WEI Chun-bei,HOU Hui-jun. Effects of Different Substrates on the Droplets and Adhesion Strength of TiN Films[J]. China Surface Engineering, 2013, 26(1): 27-33 | |
| Authors: | GONG Cai DAI Ming-jiang CHEN Ming-an WEI Chun-bei HOU Hui-jun |
| Affiliation: | 1.School of Materials Science and Engineering,Central South University,Changsha 410083;2.Institute of Surface Engineering,Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals,Guangzhou 510651) |
| Abstract: | |
| Keywords: | vacuum cathodic arc ion plating TiN films droplets film/substrate adhesion strength |
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