| 多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究 |
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| 引用本文： | 马博,田文杰,赵庆江,陈福彬,雷欧. 多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究[J]. 压电与声光, 2017, 39(6): 865-868 |
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| 作者姓名： | 马博 田文杰 赵庆江 陈福彬 雷欧 |
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| 作者单位： | 1.北京信息科技科技大学 传感器重点实验室，北京 100101；2.昆明学院 物理科学与技术系，云南 昆明 650214 |
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| 基金项目： | 北京市自然科学基金资助项目（4122030）；北京市自然科学基金重点资助项目（B类 KZ201511232037）；北京市教育委员会科技计划基金资助项目（KM201511232022）；现代控制技术教育部重点实验室（北京信息科技大学）基金资助项目 |
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| 摘 要： | 在分析石英晶片受力作用时晶片内应力分布的基础上,设计了一种多电极新型石英力敏谐振器及信号处理电路。在室温及大气状态下对设计的力敏谐振器同时进行激励时,各对电极对应的谐振器的力-频特性线性度及频率稳定性良好。将各谐振器的频率互作差频,再作叠加处理后,输出的频率信号的力-频系数达到2 951.8Hz/N,线性相关度为0.999 7,频率稳定性可达10-10数量级。
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| 关 键 词： | 多电极石英谐振器 力敏特性 频率稳定性 |
Researchon Force Sensitivity and Stability of Multi-electrode Quartz Force Sensitive Resonator |
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| MA Bo,TIAN Wenjie,ZHAO Qingjiang,CHEN Fubin,LEI Ou. Researchon Force Sensitivity and Stability of Multi-electrode Quartz Force Sensitive Resonator[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2017, 39(6): 865-868 |
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| Authors: | MA Bo TIAN Wenjie ZHAO Qingjiang CHEN Fubin LEI Ou |
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| Affiliation: | 1. Sensor Key Laboratory, Beijing University of Information Science and Technology, Beijing 100101, China;2.Department of Physics Science and Technology, Kunming University, Kunming 650214, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multi-electrode quartz resonator force-sensitive characteristics frequency stability |
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