高纯砷的制取及应用 |
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作者单位: | 一机部仪表材料研究所技术情报室 |
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摘 要: | 随着电子技术的迅速发展,化合物半导体GaAs,InAs等越来越引人注目。在电子装置里是利用固体内的电子或空穴的复杂运动,因此都要求用极高纯度的原材料,特别是化合物半导体,由于是通过合成的办法制成的,所以原材料的纯度对于化合物的特性有着极大的影响。高纯砷是化合物半导体GaAs,GaAs_xP_(1-x),InAs等的主要原料,又是Ge、Si等n型的掺杂剂,所以近年来对它的性质、提纯方法和用途等作了广泛研究。 1. 高纯砷的性质 (1)砷的同素异性体(表1)
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