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| 用于制备微纳米玻璃结构的加工工艺 | |
| 引用本文： | 权雪玲,刘民,付学成,黄胜利,凌天宇,瞿敏妮,程秀兰.用于制备微纳米玻璃结构的加工工艺[J].微纳电子技术,2022(3):272-277. |
| 作者姓名： | 权雪玲 刘民 付学成 黄胜利 凌天宇 瞿敏妮 程秀兰 |
| 摘 要： | 玻璃基材具备很多优点,是理想的微纳加工基材之一.随着在玻璃基材上加工的微纳结构越来越复杂,对玻璃微纳加工工艺的要求也越来越高.将现在普遍使用的半导体微纳加工工艺进行择优组合用于玻璃加工,并针对电感耦合等离子体反应离子刻蚀(ICP-RIE)工艺参数,对比采用不同刻蚀气体组合工艺后的刻蚀结构形貌、刻蚀速率以及玻璃基材与常用... |
| 关 键 词： | 玻璃基材 微纳加工 干法刻蚀 电感耦合等离子体反应离子刻蚀(ICP-RIE) 刻蚀选择比 |