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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
用于制备微纳米玻璃结构的加工工艺
作者姓名:
权雪玲
刘民
付学成
黄胜利
凌天宇
瞿敏妮
程秀兰
摘 要:
玻璃基材具备很多优点,是理想的微纳加工基材之一.随着在玻璃基材上加工的微纳结构越来越复杂,对玻璃微纳加工工艺的要求也越来越高.将现在普遍使用的半导体微纳加工工艺进行择优组合用于玻璃加工,并针对电感耦合等离子体反应离子刻蚀(ICP-RIE)工艺参数,对比采用不同刻蚀气体组合工艺后的刻蚀结构形貌、刻蚀速率以及玻璃基材与常用...
关 键 词:
玻璃基材
微纳加工
干法刻蚀
电感耦合等离子体反应离子刻蚀(ICP-RIE)
刻蚀选择比
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