| 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法北大核心CSCD |
| |
| 引用本文： | 崔高增,刘涛,李国光,郭霞,夏洋.一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法北大核心CSCD[J].激光与光电子学进展,2013(6):89-94. |
| |
| 作者姓名： | 崔高增 刘涛 李国光 郭霞 夏洋 |
| |
| 作者单位： | 1.中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室100029;2.北京工业大学电子信息与控制工程学院100124;3.北京智朗芯光科技有限公司100191; |
| |
| 基金项目： | 中国科学院科研装备研制项目(28Y3YZ018001)资助课题 |
| |
| 摘 要： | 双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。
|
| 关 键 词： | 测量 双片波片补偿器 光轴 光谱椭偏仪 偏差角度 消色差 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ |
|
