| 离子注入机的计算机控制扫描系统 |
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| 引用本文： | 居晶慧. 离子注入机的计算机控制扫描系统[J]. 微细加工技术, 1991, 0(3): 16-21 |
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| 作者姓名： | 居晶慧 |
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| 作者单位： | 机械电子工业部第48研究所 长沙 |
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| 摘 要： | 本文讨论了影响常规静电扫描系统的均匀性的因素,并提出一种离子注入机的计算机控制扫描系统。
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| 关 键 词： | 离子注入机 计算机控制 扫描系统 |
COMPUTER CONTROL SCANNING SYSTEM FOR ION IMPLANTER |
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| JU Jinghui. COMPUTER CONTROL SCANNING SYSTEM FOR ION IMPLANTER[J]. Microfabrication Technology, 1991, 0(3): 16-21 |
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| Authors: | JU Jinghui |
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| Abstract: | Factors that affect the uniformity in normal electrostatic scanner system are discussed. A computer control scanning system for ion implanter is also described. |
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| Keywords: | Uniformity Tilt angle Deflection angle. |
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