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GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析
引用本文:郑敏,文玉梅,李平,肖庭富.GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析[J].微纳电子技术,2007,44(7):263-265.
作者姓名:郑敏  文玉梅  李平  肖庭富
作者单位:重庆大学,光电工程学院,教育部光电技术及系统重点实验室,重庆,400030
摘    要:提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量。推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对传感器的静态特性进行了测试。分析表明该传感器为低通系统,截止频率约为14.34Hz。实验验证了复合传感器的最高静态灵敏度可达到190Hz/Oe。

关 键 词:超磁致伸缩材料  声表面波  谐振器  磁传感器
文章编号:1671-4776(2007)07/08-0263-03
修稿时间:2007-04-02

Design and Analysis of Composite Magnetic Sensor Consisting of GMM and SAW Resonator
ZHENG Min,WEN Yu-mei,LI Ping,XIAO Ting-fu.Design and Analysis of Composite Magnetic Sensor Consisting of GMM and SAW Resonator[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(7):263-265.
Authors:ZHENG Min  WEN Yu-mei  LI Ping  XIAO Ting-fu
Abstract:
Keywords:giant magnetostrictive material  surface acoustic wave  resonator  magnetic sensor
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