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分类号
杂志ISSN号
CMOS输入电路抗ESD性能研究
作者姓名:
费新礴 朱正涌
作者单位:
清华大学微电子学研究所
摘 要:
对CMOS电路中的ESD损伤进行了研究,建立了ESD灵敏度分类的测试,并通过实验研究了“电阻、二极管、电弧隙”输入保护网络各参数对ESD灵敏度的影响,提出了一种NPN防ESD结构,得到了ESD失效阈值电压达2000V以上的抗ESD结构。
关 键 词:
集成电路 CMOS 输入电路 NPN结构 静电放电
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