砷化镓气相外延层表面缺陷与衬底缺陷的关系期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

砷化镓气相外延层表面缺陷与衬底缺陷的关系

作者姓名：	丁丽

作者单位：	电子部第四十六研究所天津 300192

摘要：	利用SEM、EDX研究砷化镓气相外延层表面缺陷与衬底缺陷的关系,进一步揭示了砷化镓衬底缺陷对砷化镓外延层质量的影响。
关键词：	GaAs 气相外延缺陷
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