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金属氧化物气敏新材料的开发
作者姓名:王玉青  孙宾  陆新城  牛秀粉  裘南畹
作者单位:济南铁道职业技术学院;济南半导体研究所
摘    要:提出了开发n型金属氧化物气敏材料的理论,指出了禁带宽度Eg2 eV的材料都有可能研制薄膜气敏元件,通过Fe2O3/2%CeO2,TiO2/2%CeO2薄膜元件试制成功,论证了理论的正确性;发展了复合材料的开发理论,对ZnSnO3的气敏特性进行了测试。

关 键 词:金属氧化物  薄膜气敏元件  复合材料
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