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| MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究 | |
| 引用本文： | 金建东,郑丽,王震.MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究[J].计测技术,2010(Z1):26-28. |
| 作者姓名： | 金建东 郑丽 王震 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所芯片与微系统工程中心 |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2006AA04Z319) |
| 摘 要： | 在需要温湿度变化剧烈的环境中,湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器,本文采用MEMS(Micro-electro-mechanical system)技术,研制出集成加热元件的双模块湿度传感器,可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替测试功能,具有测试响应时间短、除湿功耗低、响应快速的特点。 |
| 关 键 词： | MEMS 集成加热功能 双模块 湿度传感器 |
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