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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
利用MEMS技术的乙炔传感器研究
作者姓名:
祁欣
周明军
张洪泉
作者单位:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
基金项目:
国家“863”计划资助项目(2006AA040101)
摘 要:
利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜电阻器,涂敷Al2O3-SnO2-Ti02-Pd和Al2O3-SnO2-Ti02-Pt,形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出乙炔传感器。测试结果表明:传感器可实现乙炔浓度为0~15000×10-6的检测,具有线性输出特性,同时对乙炔传感器的长期稳定性进行了研究。
关 键 词:
微悬梁
Al2O3膜板
催化燃烧
乙炔传感器
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