| 喷镀法制备SnO2膜导电玻璃的研究 |
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| 引用本文： | 王德苗,朱月秀. 喷镀法制备SnO2膜导电玻璃的研究[J]. 真空, 2002, 0(3): 33-36 |
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| 作者姓名： | 王德苗 朱月秀 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学信电系,浙江,杭州,310027
2. 温州大学信息学院,浙江,温州,325027 |
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| 摘 要： | 用喷镀法将 Sn Cl4溶液喷射到预先加热的玻璃表面 ,制成了薄膜电阻 <70 Ω/□ ,透光率 >88% ,热稳定性 <45 %的 Sn O2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度、溶液组成对薄膜电阻与透光率的影响。
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| 关 键 词： | 喷镀法 制备 SnO2膜 导电玻璃 二氧化锡膜 性能 电阻 透光率 |
| 文章编号： | 1002-0322(2002)03-0033-04 |
| 修稿时间： | 2001-12-06 |
Study on conductive glass with SnO2 film by spray method |
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| WANG De-miao ,ZHU Yue-xiu. Study on conductive glass with SnO2 film by spray method[J]. Vacuum(China), 2002, 0(3): 33-36 |
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| Authors: | WANG De-miao ZHU Yue-xiu |
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| Affiliation: | WANG De-miao 1,ZHU Yue-xiu 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SnO_2 film Conductive glass spray |
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