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非接触型双功能磁敏旋转传感器的研究
引用本文:胡明,白花珍.非接触型双功能磁敏旋转传感器的研究[J].电子测量与仪器学报,1999,13(1):29-33,39.
作者姓名:胡明  白花珍
作者单位:天津大学电子信息工程学院!天津300072
摘    要:本文报道了一种非接触型双功能磁敏旋转传感器,能同时测量磁性旋转体的旋转速度和旋转方向。它由利用半导体平面工艺在InSb单晶片上制成的桥式连结的InSb电阻和永磁铁构成。分析了旋转传感器的核心敏感元件InSb磁敏电阻及传感器的电路结构、工作原理。对传感器的特性进行了测量,实验结果符合理论设计。

关 键 词:非接触型  磁敏旋转传感器  磁阻效应  锑化铟

Non-contact Magneto Rotation Sensor for Double Functions
Hu Ming,Bai Huazhen,Zhang Zhisheng.Non-contact Magneto Rotation Sensor for Double Functions[J].Journal of Electronic Measurement and Instrument,1999,13(1):29-33,39.
Authors:Hu Ming  Bai Huazhen  Zhang Zhisheng
Abstract:This paper describes a kind of non-contact magneto rotation sensor for double functions. Such rotation sensor is enable to detect the rotational velocity and direction of a rotating body. It consists of a permanent magneto, two pairs of InSb magneto resistors in bridge. The InSb magneto resistor using InSb crystal is fabricated by semiconductor processing. The characteristics of the sensor has been measured. The results agree with the theoretical design.
Keywords:Non contact  Magneto rotation sensor  Magneto resistance  Indium  antimonide
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