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| 皮秒激光氧化铝陶瓷微孔加工工艺 | |
| 引用本文： | 杜大明,曹明轩,甘宏海,吴勇华,王颖,王敏,刘浩,袁铭辉.皮秒激光氧化铝陶瓷微孔加工工艺[J].新技术新工艺,2022(3):22-27. |
| 作者姓名： | 杜大明 曹明轩 甘宏海 吴勇华 王颖 王敏 刘浩 袁铭辉 |
| 摘 要： | 陶瓷基复合材料因其优异的散热性能、绝缘性、热膨胀系数和物理硬度等,适用于大功率电力电子模块、航空航天和军工电子等领域,但由于在传统加工过程中易出现崩边、层间撕裂等缺陷,且无法实现微孔加工,限制了其应用.针对氧化铝陶瓷高质量微孔加工的需求,采用红外皮秒激光作为光源对氧化铝陶瓷进行了打孔试验研究,分析了激光功率、离焦量和扫... |
| 关 键 词： | 皮秒激光 微加工 氧化铝陶瓷 工艺参数 锥度 激光加工 |