| 基于液压放大的压电微动平台设计与试验 |
| |
| 引用本文： | 许有熊,庄广锋,陈星宇,李恭乐.基于液压放大的压电微动平台设计与试验[J].压电与声光,2024,46(2):273-279. |
| |
| 作者姓名： | 许有熊 庄广锋 陈星宇 李恭乐 |
| |
| 作者单位： | 南京工程学院 自动化学院,江苏 南京 211167;南京工程学院 机械工程学院,江苏 南京 211167 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（52375292）；江苏省研究生科研与实践创新计划基金资助项目（SJCX23_1190） |
| |
| 摘 要： | 针对传统微动平台难以满足微/纳米定位的要求,该文结合液压放大原理,提出一种基于液压放大的两自由度压电微动平台,并对其进行了结构设计。采用正交设计方法对其进行有限元双向流固耦合分析,优化了其结构参数。研制了实物样机并进行试验研究。开环控制试验结果表明,当压电驱动器输入为90 μm时,压电微动平台最大输出位移为603.0 μm,放大倍数约为6.7;闭环控制试验结果表明,采用分段微分、积分、比例(PID)算法能降低超调量,且响应时间、稳态时间均减小,稳态误差降低（为±0.2 μm）,实现了微动平台的大范围输出精密定位。
|
| 关 键 词： | 微动平台 压电驱动器 液压放大 双向流固耦合 试验研究 |
| 收稿时间： | 2023/11/17 0:00:00 |
Piezoelectric Micro-Motion Platform Based on Hydraulic Amplification |
| |
| XU Youxiong,ZHUANG Guangfeng,CHEN Xingyu,LI Gongle.Piezoelectric Micro-Motion Platform Based on Hydraulic Amplification[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2024,46(2):273-279. |
| |
| Authors: | XU Youxiong ZHUANG Guangfeng CHEN Xingyu LI Gongle |
| |
| Affiliation: | School of Automation, Nanjing Institute of Technology, Nanjing 211167 ,China;School of Mechanical Engineering, Nanjing Institute of Technology, Nanjing 211167 ,China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
|
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《压电与声光》下载全文 |
|
