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W—Ti二元合金阴极溅靶的开发及溅射特性的研究
引用本文:Yamau.,M 杨钰.W—Ti二元合金阴极溅靶的开发及溅射特性的研究[J].国外稀有金属,1991(3):37-43.
作者姓名:Yamau.  M 杨钰
摘    要:

关 键 词:W-Ti合金  阴极溅射靶  溅射特性
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