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| 三氟化氮——一种新型干蚀刻气 | |
| 作者姓名： | 杨彦 |
| 作者单位： | 中核红华特种气体股份有限公司,四川,成都,温江,611130 |
| 摘 要： | 通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特别是用于需要高蚀刻速率时。在通常条件下,可进行方便的管理。 |
| 关 键 词： | 三氟化氮 蚀刻剂 |
| 文章编号： | 1007-7804（2006）04-0028-04 |
| 收稿时间： | 2005-12-31 |
| 修稿时间： | 2005-12-31 |
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