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SnO_2∶Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量的理论计算
引用本文:潘良玉,陈玖琳,范志新.SnO_2∶Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量的理论计算[J].传感技术学报,2002(4).
作者姓名:潘良玉  陈玖琳  范志新
作者单位:河北工业大学应用物理系,河北工业大学应用物理系,河北工业大学应用物理系 天津,300130,天津,300130,天津,300130
摘    要:本文介绍一个最佳掺杂含量表达式 ,应用此表达式定量计算了 Sn O2 ∶ Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量 ,定量计算的结果与实验数据十分符合。

关 键 词:气敏元件  晶体结构  制备方法  最佳掺杂含量  理论计算
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