SnO_2∶Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量的理论计算 |
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引用本文: | 潘良玉,陈玖琳,范志新.SnO_2∶Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量的理论计算[J].传感技术学报,2002(4). |
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作者姓名: | 潘良玉 陈玖琳 范志新 |
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作者单位: | 河北工业大学应用物理系,河北工业大学应用物理系,河北工业大学应用物理系 天津,300130,天津,300130,天津,300130 |
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摘 要: | 本文介绍一个最佳掺杂含量表达式 ,应用此表达式定量计算了 Sn O2 ∶ Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量 ,定量计算的结果与实验数据十分符合。
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关 键 词: | 气敏元件 晶体结构 制备方法 最佳掺杂含量 理论计算 |
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