P^+—GexSi1—x/p—Si异质结红外探测器性能的提高 |
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作者姓名: | 王瑞忠 罗广礼 |
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作者单位: | [1]清华大学微电子学研究所 [2]中国科学院物理研究所 |
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摘 要: | 通过采用层叠结构、增加SiO2介质腔和铝反射镜、背面蒸镀SiO抗反射层等措施,使P^+-GexSi1-x/p-Si异质结内光发射红外探测器在77K下的性能提高到在不加偏置电压的条件下响应范围2 ̄8μm,D(5.5,1000,1)^*=1.1×10^10cmHz^1/2/W,量子效率可达4%。其Dp^*已达到实用的PtSi红外探测器的量级。另外,在器件的结构设计中,我们采用了一种改进的电极结构,以提
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关 键 词: | 层叠结构 介质腔 异质结 红外探测器 |
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