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| 16×16光开关微镜阵列 | |
| 引用本文： | 陈庆华,吴文刚,王子千,闫桂珍,郝一龙.16×16光开关微镜阵列[J].半导体学报,2008,29(8). |
| 作者姓名： | 陈庆华 吴文刚 王子千 闫桂珍 郝一龙 |
| 作者单位： | 北京大学微电子学与同体电子学研究院微米／纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871 |
| 摘 要： | 设计、制造和测试了一种实现16×16MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90°扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤-微镜-光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%~96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5~90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB. |
| 关 键 词： | 光开关 微镜阵列 大角度 静电驱动 微电机系统 |
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