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| “FA/O—8003系列抛光液的研究”通过省级技术鉴定 | |
| 作者姓名： | 张 |
| 摘 要： | 由河北省科委下达,我院承担的“FA/O—8003系列抛光液的研究”于1989年7月23日在我院通过省级技术鉴定.该项目是硅器件与外延材料关系研究项目的子课题.是在1982年 FND—MOS 型8001—8002抛光液获国家发明奖基础上继续开展的无磨料抛光研究.以我院获国家级突出贡献奖的刘玉岭副教授为组长的半导体技术研究室抛光液研究组经过七年多的试验研 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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