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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
开管铝镓扩散的掺杂机制
作者姓名:
刘秀喜 薛成山
作者单位:
山东师范大学半导体所
摘 要:
针对铝乳胶源涂布与气相镓相结合的开管受主双质扩散技术,本文就其掺杂机制进行了分析讨论。
关 键 词:
工艺方法 镓铝双质扩散 掺杂机制 晶闸管
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