| 微机械往复式无阀泵的振动特性分析 |
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| 引用本文： | 王皓,罗先刚,姚汉民,杜春雷.微机械往复式无阀泵的振动特性分析[J].光学精密工程,2005,13(Z1):98-102. |
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| 作者姓名： | 王皓 罗先刚 姚汉民 杜春雷 |
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| 作者单位： | 1. 电子科技大学,机械电子工程学院,四川,成都,610054;中国科学院,光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209
2. 中国科学院,光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209 |
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| 基金项目： | 中国科学院光电技术研究所领域前沿部署课题资助(No.CK0212);教育部博士点基金(No.20030610029)资助;电子科技大学青年科技基金重点项目资助 |
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| 摘 要： | 提出了用于研究微机械往复无阀泵动态特性的二自由度振动力学模型,并进行了分析与实验验证.在模型中增加考虑泵腔内气泡因素,并将泵腔内、外液体质量的影响分开考虑;得出振幅随频率、泵腔内外液体质量比变化的曲线;发现其幅频曲线一般呈双峰特性,泵腔内外液体质量比值对曲线特征、谐振频率、振幅均有显著影响.通过实验验证了分析结果.由此得出以提高泵压为目的的微泵优化设计策略适当增大膜片质量、选择合理的泵腔内外液体质量比值.采用硅深刻蚀、硅-玻璃膜片键合等工艺制作出微机械往复无阀泵,其尺寸为20 mm×20 mm×0.65 mm,实现最大泵压为1.52 kPa,对应最大流量为35×10-6 L/min.
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| 关 键 词： | 微泵 微流控芯片 微机电系统 |
| 文章编号： | 1004-924(2005)增-0098-05 |
| 收稿时间： | 2005/7/20 |
| 修稿时间： | 2005年7月20日 |
Analysis on the vibrating characteristics of a micro mechanical valve-less pump |
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| WANG Hao,LUO Xian-gang,YAO Han-min,DU Chun-lei.Analysis on the vibrating characteristics of a micro mechanical valve-less pump[J].Optics and Precision Engineering,2005,13(Z1):98-102. |
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| Authors: | WANG Hao LUO Xian-gang YAO Han-min DU Chun-lei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-pump lab-on-a-chip(LOC) micro electro-mechanic system(MEMS) |
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